독일 소재기업 머크가 극자외선(EUV) 노광 공정에 사용하는 세정액 제품을 내놨다. 유도자기조립(DSA:Directed Self-Assembly)과 같은 차세대 노광 기술 개발을 통해 성능은 높이고 비용을 줄이는 공정을 제시한다는 계획이다.아난드 남비아 머크 반도체 솔루션 사업 부문 대표(수석부사장)는 “DSA와 EUV에서 새로운 소재 솔루션으로 혁신을 준비하고 있다”라며 “불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF) 공정용 세정액뿐 아니라 EUV 공정용 제품도 출시했다”라고 설명했다. 머크가 EUV용 세정액을 국내 전시회에 선보이는


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