현재 펠리클 개발이 제대로 되었다는 긍정적인 시그널이 안나오는 상황이라서...

EUV의 적용 수준이 매우 한정적일 공산이 큽니다.

그 이야기는 EUV의 도입으로 기대할 수 있었던 메탈레이어 2차원 패터닝에서의 균일도 향상 같은 성능향상 포인트들이 이번 EUV 초기 차수에서는 적용 안될 가능성이 크다는 의미죠.

사실상 TSMC와의 EUV 최초양산 타이틀 따먹기 수준 이상의 의미를 가질지는 의문입니다.