이근택 삼성전자 반도체연구소 장비기술개발 마스터는 26일 오후 서울 양재동 엘타워에서 열린 반도체·디스플레이 기술로드맵 세미나에서 ‘차세대 반도체 장비 전망’을 주제로 연설했다.이 마스터는 장비개발 전문가다. 2014년 말 삼성전자 내 연구개발(R&D) 분야 최고전문 직책인 ‘마스터’로 선임된 바 있다.그는 차세대 D램, 낸드플래시, 로직 생산용 장비의 요구 사항을 소개했다.D램은 커패시터 생산 설비 혁신이 요구됐다. D램은 커패시터 내 전하 저장 유무로 0과 1을 판단한다. 회로 선폭이 미세화되면 커패시터 바닥 면적 역시 좁혀야


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