김태곤 한양대학교 에리카 스마트융합공학부 교수가 극자외선(EUV) 마스크(Mask) 및 펠리클(Pellicle) 세정 공정 기술 개발 연구에 대한 성과를 인정받아 23일 인천 송도에서 개최된 ASML코리아 테크토크에서 ‘젊은 과학자’ 상을 수상했다.노광(露光, exposure)은 금속 설계 패턴이 새겨진 마스크(mask)에 빛을 쪼이고, 마스크를 투과한 빛은 감광액(photoresist)이 도포된 웨이퍼로 전사돼 회로 패턴을 형성하는 일련의 과정을 의미한다. 필름 사진을 현상하는 과정과 흡사하다.김 교수 연구는 마스크, 그리고 마스


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