프리시스가 10.5세대 유기발광다이오드(OLED) 공정용 고 진공밸브를 개발, 시장 확대에 나선다. 이 회사는 지난해 8.5세대 OLED 공정용 밸브를 출시한데 이어 최근 10.5세대급 밸브와 펜덜럼 밸브, 스윙 밸브 등을 잇달아 선보이고 있다. 진공 밸브는 진공 상태에서 작동하는 대부분의 반도체 및 디스플레이 장비에 쓰인다. 생산 공정 작업 환경 설정에 핵심 역할을 한다. 공정 중 수시로 열고 닫히기 때문에 미세 분진이 새어 들어와 수율에 영향을 미치지 않도록 해야 하며 열과 부식에도 강해야 한다. 외부 공기를 차단하고 일정한 압


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