삼성전자가 극자외선(EUV) 노광 공정 핵심 재료인 포토레지스트(PR) 수급을 다변화한다. 삼성은 미국 반도체 소재 업체인 인프리아의 EUV용 PR를 조만간 적용할 계획이다.

인프리아는 무기물 기반 EUV PR를 만드는 세계 유일 업체다. 무기물 PR는 초미세 반도체 회로 구현 성능이 우수한 것으로 평가받고 있다. 삼성의 EUV 공정 경쟁력 강화와 그동안 일본에 의존해 온 EUV PR 조달 다변화가 기대된다.

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