○국산 장비업체 대표 SMEE-노광, SMIC-식각, 나우라/SMIC/파이오테크-박막증착 - 자료에 따르면 월 생산능력 10만장 성숙공정 생산라인의 장비구매액은 70억달러에 달함. - 웨이퍼 제조장비별 지출 비중은 식각장비 약 22.1%, CVD장비 16.4%로 총 64.9%. CMP장비 3.5%, 이온주입장비 3%, 스퍼터링장비 4.8%, 열처리장비 2.7%, 세척장비 7%, 프론트엔드검사장비 10.5%로 프론트엔드 제조장비(노광, 식각, 박막증착 등) 시장 규모가 전체의 80% 이상을 차지함.

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