미니 삼성 EUV 펠리클 자체개발 소식

Aimyon
조회 수 1349
2023.01.10. 17:36

https://m.etnews.com/20230110000158

투과율 88%

지난해 말 개발완료

2021 파운드리 포럼에서 언급한지 1년만에 나왔네요. 생산성 수율 개선에 도움 좀 되겠습니다.

협력사 펠리클이랑 멀티벤더로 섞어 쓸듯 하네요.

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best1등흡혈귀왕
		2023.01.10. 17:44					
드디어!!!

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글쓴이Aimyon
						 흡혈귀왕 님께
				
		2023.01.10. 17:52					
TSMC는 EUV 도입 초기부터 펠리클 가지고 막 자랑했는데 ㅠㅠ 어찌됐든 삼성도 나오긴 나왔네요

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전자개복치
						 흡혈귀왕 님께
				
		2023.01.10. 18:17					
최근 수율향상 소식이랑 저게 혹시 관련이...

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2등패주초
		2023.01.10. 17:49					
뭔가를 하고있는거 자체가 보기좋네요

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best패주초
						 패주초 님께
				
		2023.01.10. 17:55					
근데 저 기사가 시사하는 바가 뭔가요?
국산화해서 스냅드래곤ㅡ엑시 마냥 단가비용을 줄일수있다는건지
아님 타사보다 우월한 펠리클을 개발해서 우위를 점할수 있다는건지?

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3등SoundbyAKG
		2023.01.10. 17:52					
대단하네요 벌써

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오꾸리
		2023.01.10. 18:05					
이제 펠리클 도입되면 수율을 확 끌어 올릴수 있을라나요?

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포인트봇
						 오꾸리 님께
				
		2023.01.10. 18:05					
회원님 1포인트 채굴 성공!

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전자개복치
		2023.01.10. 18:09					
88%면 굉장하군요. 90%가 곧 출시되긴 하지만...
저 정도면 수율 향상에 도움 많이 되겠네예

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글쓴이Aimyon
						 전자개복치 님께
				
		2023.01.10. 18:20					
최소요건이 88%이상인 것으로 압니다. 모 업체에서는 투과율 95% 짜리 그래핀 펠리클도 개발했다고...

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시릴라
		2023.01.10. 18:10					

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