EUV(극자외선) 공정 도입이 본격화할 것으로 예상되는 가운데, 국내 기업이 개발한 펠리클 상용화 시기에 관심이 쏠린다. 현재 국내에선 에스앤에스텍, 에프에스티 등이 투과율 90% 이상의 EUV 펠리클 개발을 마친 상태다. 물성이나 성능 면에서 당장 양산 공정 적용도 가능하다는 게 업계의 얘기이지만, 아직까지 상용화 시점은 불투명한 상황이다. 상용화의 키(key)를 쥔 삼성전자가 EUV 펠리클의 손상 위험을 의식해 라인 적용을 주저한다는 얘기도 나온다. 7일 업계에 따르면 EUV 공정 도입 확대에 맞춰 국내 기업들도 펠리클 개발을


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