소식 중국용 DUV 장비 추진되나?
- 뉴스봇
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- 2023.08.09. 09:45
○ASML 중국용 DUV 출시?- 7월 6일 대만 디지타임스 보도에 따르면 네덜란드 노광장비 기업 ASML은 미국 및 네덜란드의 최신 수출 규정을 준수하면서도 별도의 허가없이 중국에 수출할 수 있도록 DUV 장비의 특별 버전을 출시하는 것을 고려- 보고서에 따르면 특별 버전의 DUV 리소그래피는 Twinscan NXT: 1980Di 리소그래피 시스템을 기반으로 개조되었으며 NXT:1980Di는 10년 전에 출시된 이전 모델이며 제한 범위에 속하지 않음- 앞서 '네덜란드 반도체 장비 수출 규제에 대한 새로운 세부 사항'
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