반도체 장비 기업 예스티는 최근 경쟁사가 제기한 고압 어닐링 장비 관련 특허소송에 적극 대응하겠다고 8일 밝혔다. 예스티 관계자는 "고압 어닐링 장비 개발단계부터 이런 분쟁을 예상하고 특허와 관련해 다수의 특허법인 및 법무법인과 다각적인 기술적·법률적 검토를 마친 상태"라며 "경쟁사 특허침해 주장은 근거가 없기 때문에 이번 특허소송에 적극 대응하겠다"고 말했다.특허소송을 제기한 곳은 HPSP다.예스티는 지난 2021년부터 자체 고온·고압 제어기술을 고압 어닐링 장비를 개발해왔다. 개발과정에서 압력 챔버에 관한 특허 등 여러 건의 특


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