저스템이 LG디스플레이와 55억원 규모 수율 개선 제전장비 공급계약을 체결했다고 24일 밝혔다.저스템이 공급하는 고진공 이오나이저시스템(VIS)은 OLED 제조공정에서 발광용 유·무기재료를 고열로 증착할 때 발생하는 정전기를 제거해 제품의 신뢰성을 높이는 장비다. 저스템의 VIS는 고진공 환경에서 이온만을 생성해 웨이퍼나 글래스의 유·무기물 증착 표면을 최대한 손상 없이 제전할 수 있는 장비다. 회사는 지난 2022년부터 LG디스플레이와 협업을 통해 VIS 장비의 양산성 검증을 했고, OLED 패널 제조 양산 라인에 장비를 공급하게


기사 더 읽기