DUV+SAQP로 5nm, 3nm, 2nm까지 시도할 시 예상 수율은 그래프를 보니 대략 이렇다고 합니다.

- 5 nm : 약 45% / EUV : 약 74 %

- 3 nm : 약 16% / EUV : 약 60 %

- 2 nm : 약 7.7% / EUV : 약 55 %

닛케이 기사에 따르면 SMIC(중국)의 목표는 2025년에 5 nm 대량양산인데, DUV+SAQP로 

5 nm까지는 대량양산이 이론상 어느 정도 가능해보입니다.

물론 3 nm부터는 뭐...