CTT리서치는 국내 반도체 장비사 에프에스티에 대해 극자외선(EUV) 펠리클 국산화가 얼마 남지 않아 EUV 펠리클 양산을 바탕으로 큰 폭의 실적 향상이 예상된다고 12일 밝혔다. 에프에스티는 2021년 삼성전자가 기술 협력 개발을 위해 430억 원을 투자한 국내 토종 반도체 장비업체다. 작년 말 삼성전자가 보유 중인 에프에스티 지분은 약 7%다.

에프에스티는 지난해 11월 330억 원 규모의 펠리클 신규 시설투자를 발표한 데 이어 연초 EUV 펠리클 전용 공장을 착공했다. 투자 규모는 약 190억 원 수준으로 하반기 중 완공하고 연내 고객사에 시양산품을 공급할 예정이다.