ASML을 ‘슈퍼’ 을로 만든 것은 이 회사의 ‘EUV(극자외선) 노광장비’다. 반도체 회로를 그릴 때 반드시 필요한 장비라, 세계적으로 반도체 수요가 증가하고 수급난이 심해지는 상태에서 몸값이 더 올랐다. 특히, 반도체 업계가 7나노미터(nm) 공정에 더욱 관심을 가지면서 초미세공정에 적합한 EUV 노광장비에 대한 관심도 덩달아 커지고 있다. 다만, 전문가가 아니라면 EUV 노광장비는 다소 낯설고 어려운 용어다. 그래서 준비했다. EUV 노광장비란 무엇인가?


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