미니 잡담: "EUV 없이 5, 3, 2nm 공정 구축 시 수율은?"
- Section31
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- 2023.12.19. 15:37
DUV+SAQP로 5nm, 3nm, 2nm까지 시도할 시 예상 수율은 그래프를 보니 대략 이렇다고 합니다.
- 5 nm : 약 45% / EUV : 약 74 %
- 3 nm : 약 16% / EUV : 약 60 %
- 2 nm : 약 7.7% / EUV : 약 55 %
닛케이 기사에 따르면 SMIC(중국)의 목표는 2025년에 5 nm 대량양산인데, DUV+SAQP로
5 nm까지는 대량양산이 이론상 어느 정도 가능해보입니다.
물론 3 nm부터는 뭐...
댓글
오히려 E2200 초기 수율 생각하면
엄청 높아보이는데요