국내 세정장비업체 디바이스이엔지가 지난 9월 삼성전자 경기 화성시 극자자외선(EUV) 전용 파운드리 생산라인에 풉(FOUP) 세정장비 초도 물량을 공급한 것으로 4일 전해졌다. 삼성전자는 기존 비메모리 생산라인에서 디바이스이엔지와 미국 브룩스오토메이션로부터 풉 세정장비를 조달받아 왔었다. EUV 전용 라인에서는 디바이스이엔지가 브룩스오토메이션을 제치고 풉 세정장비를 우선 공급했다. 메모리 생산라인에서는 디바이스이엔지와 일본 휴글이 풉 세정장비를 함께 공급하고 있다.풉은 둥그런 웨이퍼를 층층이 쌓아 넣는 일종의 배달 가방이다. 육면체


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