○루신춘 교수팀, 중국 최초 300mm 웨이퍼 연마 장비 본격 출시- 최근 루신춘(路新春) 칭화대학 기계학과 교수가 기업연계 프로젝트로 개발한 12인치 초정밀 웨이퍼 연마기 Versatile-GP300를 국내 모 반도체 기업에 출하했음.- 이 장비는 루신춘 교수팀이 화하이칭커(华海清科)와 함께 폴리시 장비 부족문제를 해결한 데 이어 또 한 번 이룩한 중요한 성과로 3D IC제조, 첨단 패키징 등 반도체 제조 생산라인에 적용될 예정.


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