미니 삼성이 이 꼬라지난 킹리적 갓심 (스핀글 아님)

reador...
조회 수 1133
2021.06.06. 00:34

웨이퍼에 회로 패턴을 전사할 때 euv 마스크를 쓰는데

오염물질로부터 보호도 하고 좀 더 오래 쓸라고

펠리클을 씁니다.

그런데 삼성은 펠리클을 안 쓰는데, TSMC는 잘 쓰고 있으니

계속 euv 마스크를 자주 갈아줘야 할거고 수율, 제품편차 폭발 😂

		9
								
1등폴드투를쓰는겁니다
									2021.06.06. 00:45									
엥 TSMC가 EUV 팰리클을 쓰고 있었어요?
https://semiengineering.com/euv-pellicles-finally-ready/
이거보면 펠리클대신 dry-cleaning 기법으로 particle 해결했다는디
 
https://esg.tsmc.com/csr/en/update/greenManufacturing/caseStudy/36/index.html
 
위의 dry-cleaning 으로 PR 제거하는 것과 관련된 글인데.. 펠리클은 안쓰고 있는게 맞는거같은데요?

					 1
									
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글쓴이reador...
										 폴드투를쓰는겁니다 님께
				
									2021.06.06. 00:46									
이거는 asml이 개발한 euv 펠리클이 개발 되었다는 얘기일걸요?
 
독자적으로 개발한 euv 펠리클을 이미 쓰고 있는 걸로 알고있고
 
https://www.anandtech.com/show/16732/tsmc-manufacturing-update 
 
여기서도 이미지에 있는 pellicle capacity for euv mask 그래프를 보면 
 
꽤나 예전부터 썼는것 같습니다.

					 1
									
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폴드투를쓰는겁니다
										 reador... 님께
				
									2021.06.06. 00:47									
https://www.anandtech.com/show/16732/tsmc-manufacturing-update
 
아 여기에는 펠리클 이야기가있네요?
 
엌 댓달아주셨네요 ㅋㅋㅋ

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바보중
										 reador... 님께
				
									2021.06.06. 00:50									
저도 이거 봤었죠. 그래서 삼성 저건 뭐하나 했던 기억이;;

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폴드투를쓰는겁니다
										 reador... 님께
				
									2021.06.06. 00:51									
근데 말이 좀 이상하네요, 위에 TSMC 에서 게시한 글을 보면 TSMC는 pellicle이 없는 EUV 공정을 사용하고 있다라는 내용이 있는데말이죠. 뭐 병행했단 소린가

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2등바보중
									2021.06.06. 00:44									
근데 asml에서 펠리클 개발했거든요. 그걸 쓸테니 내년껀 수율(?)이 크게 걱정은 안됩니다

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나랏미
										 바보중 님께
				
									2021.06.06. 00:46									
어...음 삼성도 내년에 쓴다는 말씀인가요?

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바보중
										 나랏미 님께
				
									2021.06.06. 00:49									
꼭 asml표 페리클이 아니더라도 국내기업과 합작해서 개발중입니다. 올해 상반기에 시제품 내놓는다고 했고요

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나랏미
										 바보중 님께
				
									2021.06.06. 00:54									
어느쪽이던 내년엔 확실히 들어갈수도 있겠군요

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