미니 잡담: 캐논, (EUV아님) NIL 방식 5nm 노광장비 공개
- Section31
- 조회 수 698
- 2023.10.17. 10:19
https://global.canon/en/news/2023/20231013.html
2023년 10월 13일, 일본의 사무기기 및 광학기기 제조 기업 캐논(Canon)은
나노임프린트 리소그래피(NIL) 방식의 노광장비인 FPA-1200NZ2C를 발표했습니다.
캐논에 따르면 이 노광장비는 최소선폭 14nm의 회로 패터닝이 가능하며,
이를 통해 5nm 공정 반도체 생산에 쓰일 수 있습니다.
캐논은 이를 바탕으로 10nm 선폭의 회로 패터닝 구현을 목표로 하며,
이것이 실현되면 2nm 공정 반도체 생산에 사용될 수 있을 것으로 보고 있습니다.
한편, 우리나라에서는 SK하이닉스가 캐논으로부터 NIL 방식의 노광장비를 도입하여
3D 낸드플래시 생산에 쓰일 수 있는지 테스트 중인 것으로 알려져 있습니다.(기사: 조선비즈)
댓글
12
1등 ASTRAY
MiKor82
ASTRAY 님께
xclear
ASTRAY 님께
ASTRAY
xclear 님께
2등 Aimer
나르자
Aimer 님께
글쓴이
Section31
Aimer 님께
3등 xclear
글쓴이
Section31
xclear 님께
ASTRAY
Section31 님께
글쓴이
Section31
ASTRAY 님께
ASTRAY
Section31 님께
영어공학과
2023.10.17. 11:48
2023.10.17. 13:21
2023.10.17. 15:28
2023.10.17. 16:22
2023.10.17. 12:47
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2023.10.17. 15:25
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2023.10.17. 16:24
2023.10.17. 16:26
2023.10.17. 16:38
2023.10.17. 18:27
얘넨 매번 느끼지만 임프린트에 진짜 진심이에요..