소식 ASML "중국 EUV 장비 공급 어려워"
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- 2021.12.21. 21:27
○ASML, “중국 EUV 장비는 공급 어렵지만 DUV 장비는 문제 없어”‧‧‧양안 숙련공정 시소게임 예고- 선보(沈波) ASML 글로벌사업부장 겸 중국 총괄이 “선단공정에 쓰이는 극자외선(EUV) 장비를 중국 고객사에 납품하는 건 여전히 어렵지만 그 외 장비는 모두 공급 가능하다”고 밝혔음. - 이 말은 곧 SMIC가 7나노 이하 공정에서는 TSMC와 경쟁이 불가능하지만, 기타 숙련공정에 사용되는 심자외선(DUV) 장비의 도입은 문제 없다는 뜻
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