삼성전자가 극자외선(EUV) 패터닝 개선에 사용되는도쿄일렉트론(TEL)의 신규 가스 클러스터 빔(GCB) 장비를 테스트 중이다. 검증 결과에 따라 어플라이드머티어리얼즈(어플라이드)가 선진입한 EUV 패터닝 개선 장비 시장에 균열이 일어날 수 있다.2일 업계에 따르면 삼성전자가 TEL의 신규 장비 '아크레비아(Acrevia)'를 테스트 중이다. 아크레비아는 TEL의 GCB 장비다. 이온 빔을 활용하는 장비로 웨이퍼의 국소 부위를 쉐이핑하는 데 쓸 수 있다.TEL은 아크레비아 장비로 EUV 공정의 패턴 거칠기(LER)와


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