미니 삼성의 놀라운점은 펠리클을 사용하지 않았다 입니다.
- 갠냑시
- 조회 수 1338
- 2023.04.30. 14:58
펠리클이 수율의 100%을 좌우 하는건 아니긴한데 상당히 영향력이 있죠..
EUV 라인에.. 전체적으로 펠리클 도입이 완벽하게 되고 났을때.도 기대가 되네요..
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펠리클이 수율의 100%을 좌우 하는건 아니긴한데 상당히 영향력이 있죠..
EUV 라인에.. 전체적으로 펠리클 도입이 완벽하게 되고 났을때.도 기대가 되네요..
TSMC: ??? (펠리클 없이 70~80% 수율이 가능하다고???)**
** TSMC는 자체 개발한 폴리실리콘 기반 펠리클을 사용 중 (투과율 약 83%)